PAPEL BLANCO: Alcanzar la uniformidad de temperatura en los sistemas de calefacción de líneas de gas para la fabricación de semiconductores
Resumen
Las herramientas de semiconductores con líneas de gas, líneas preliminares y líneas de escape requieren un calentamiento preciso y un control del proceso térmico. Los sistemas tradicionales son complejos y engorrosos y a menudo no ofrecen suficientes datos térmicos y control de calefacción. Sin un rendimiento térmico óptimo, las paradas de línea son inevitables y costosas.
El sistema de calefacción STREAMLINE™ de Watlow con tecnología Adaptive Thermal Systems® (ATS™) crea un sistema térmico centralizado con una uniformidad de temperatura mejorada, un tamaño reducido, diagnósticos exhaustivos y tiempos de desarrollo más rápidos.
